大气压力传感器工作原理

工作原理

• piezoresistive（压阻式）：利用半导体材料（如硅）的压阻效应 —— 当受到气压作用时，材料的电阻值发生变化，通过测量电阻变化间接计算气压。

• capacitive（电容式）：由两个平行极板组成，气压变化导致极板间距或面积改变，电容值随之变化，通过检测电容变化获取气压值。

• resonant（谐振式）：利用气压变化对谐振器（如石英晶体）振动频率的影响，通过频率变化计算气压，精度较高。

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